시너스텍

SEMI OHT (Overhead Hoist Transport)

Use

천정에 설치된 Rail을 따라 반도체 공정간 물류를 이송하는 시스템

Features

• Dual Rail Track
• Compact & Slim Design
• Side Track Buffer Interface
• Contactless Power Supply System

Specification

• TypeFOUP, FOSB, SMIF POD, Magazine, Tray, Cassette, etc.
• PayloadMax. 20kg
• VelocityMax. 320m/min
• Curve RadiusR500mm
• CleanlinessClass 100
  Class 10 (Get Control with Velocity)

SEMI STOCKER

Use

물류 자동화 시스템과 연결하여 자재를 보관, 입출고 하는 기능의 자동화 장비

Features

• Superior Cycle Time
• Flexible Port Configuration
• Optimize Safety Interlock
• N2 Purge System (Option)

Specification

• TypeFOUP, FOSB, SMIF POD, Magazine, Tray, Cassette, etc.
• Movement AxesX-axis, Z-axis, Turning, Forking
• Forking TimeForking Time: 2 sec
• CleanlinessClass 100

Bank STOCKER

Use

• Bank(Wafer sorting / Split, Merge)
• Storing & transport t in bank process during PKG&Test

Features

• Twin S-Master
• Storing over 1,000 cell
• Sorter Docking

Specification

• TypeFOUP, FOSB
• PayloadMax. 15kg
• Movement AxesX-axis, Z-axis, Turning, Forking
• Tact TimeForking Time : 2sec
• CleanlinessClass100

SEMI AGV (Automated Guided Vehicle)

Use

반도체 공정 중 FOUP, Cassette 등의 반송물을 Stocker와 EQ 장비에 자동으로 반송하는 장비

Features

• Excellent & Flexible Delivery System
• Direct Interface with Process Equip or Buffers

Specification

• Use to Handle TypeFOUP, FOSB, Cassette, Megazine, Tray, etc.
• Load/Unloading Time25~30sec
• Traveling VelocityMax. 56m/min
• CleanlinessClass 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)
  Pkg- Class 1000@0.5㎛(Anti-Particle Design)

MCS (Material Control System)

Use

MES로부터 수신한 이송명령을 물류설비간 최적 경로 탐색하여 개별 물류 설비의 이송을 제어 이송에 대한 실시간 모니터링을 통해 Full Automation을 구현

Features

• AMHS 장비 및 Material 에 대한 공장내 이송 장비의 실시간 모니터링
• SEMI 표준 지원 (SECS, GEM, Stocker-SEM, IB-SEM)
• 공장 상황에 따른 효율적인 Dynamic Routing
• 최적의 이송 경로 탐색(Shortest Path) 알고리즘 적용
• 부하 분산을 위한 Load Balancing
• OS에 독립적인 J2EE Platform
• Run-Time Patch
• Active-Active 구조로 Auto Failover 대처
• 다양한 DBMS 및 Middleware 지원

Specification

• 대응 장비OHT, Stocker, OHB, Lift, AGV
• 기반 프로토콜IB-SEM / Stocker-SEM
• Auto FailoverActive-Active
• Business LogicBPEL 기반
• 확장성다양한 Host / AMHS와 통합 용이

SEMI HT (High Speed Tower)

Use

반도체 공정중 층간 반송물을 고속으로 수직 반송 및 제품을 보관하는 장비

Features

• Short Cycle Time
• Fast Moving Speed
• Fast Cargo System Between Multi Floor

Specification

• TypeFOUP, FOSB, SMIF POD, Magazine, Tray, Cassette, etc.
• Height25 ~ 65m
• Up/Down VelocityMax. 250m/min

Conveyor

Use

제품을 수평으로 이송하며 Buffer로서 적재도 가능한 물류 System

Features

• Flexible with Module Unit
• Dual Belt for Minimum Tray Contact
• Miniaturization / weight lightening

Specification

• TypeFOUP, FOSB, SMIF POD, Magazine, Tray, Cassette, etc.
• VelocityTurn Speed : 40 ˚/sec